具有多凹陷源_漏漂移区的双凹栅4H-SiC MESFET - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf

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2026-1-10 02:52 | 查看全部 阅读模式

会议论文《具有多凹陷源_漏漂移区的双凹栅4H-SiC MESFET》介绍了新型双凹栅结构的4H-SiC金属-半导体场效应晶体管。该器件通过引入多凹陷源和漏漂移区,有效改善了电场分布,提高了击穿电压和器件性能。研究结果表明,该结构在高频和高功率应用中具有良好的潜力,为宽禁带半导体器件的发展提供了新思路。

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具有多凹陷源_漏漂移区的双凹栅4H-SiC MESFET - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
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