会议论文《离子注入AlN单晶的荧光谱分析》探讨了通过离子注入技术对AlN单晶进行改性后的荧光特性。研究利用光致发光谱分析方法，揭示了不同注入条件对AlN光学性能的影响。该成果为AlN在深紫外发光器件中的应用提供了理论依据和技术支持。
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