紫外光激发的砷化镓表面氧化反应研究 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 17:24 | 查看全部阅读模式

会议论文《紫外光激发的砷化镓表面氧化反应研究》探讨了紫外光对砷化镓表面氧化反应的影响。该研究通过实验分析了不同波长和强度的紫外光对材料表面氧化过程的作用机制，为半导体器件的表面处理提供了理论依据。论文在第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议上发表，具有重要的学术价值和应用前景。

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