该会议论文研究了温度对等离子渗硼源极溅射行为及渗硼层成分的影响。通过实验分析不同温度下渗硼过程的物理化学变化，发现温度显著影响溅射速率和渗硼层的元素组成。研究结果为优化渗硼工艺提供了理论依据，对提高材料表面性能具有重要意义。
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