氯化氢含水对生产三氯氢硅的影响 - 全国特种气体第十二次年会.pdf

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2026-1-12 15:11 | 查看全部 阅读模式

会议论文《氯化氢含水对生产三氯氢硅的影响》探讨了在三氯氢硅生产过程中,氯化氢气体中水分含量对反应效率和产品质量的影响。研究指出,水分的存在可能导致副反应增加,影响产物纯度和收率。通过实验分析,作者提出了控制氯化氢含水量的必要性,以优化生产工艺,提高生产效率和产品稳定性。

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氯化氢含水对生产三氯氢硅的影响 - 全国特种气体第十二次年会
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