会议论文《电子工艺有害气体CF4高温分解特性实验研究》探讨了四氟化碳在高温条件下的分解特性，旨在为电子制造过程中的废气处理提供理论依据。研究通过实验方法分析了CF4的热分解行为及其影响因素，对降低环境污染和提高处理效率具有重要意义。
文档为pdf格式，0.37MB，总共7页。
举报
