氧离子注入近化学剂量比铌酸锂晶体波导的特性研究 - 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议.pdf

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2026-1-12 15:10 | 查看全部阅读模式

会议论文《氧离子注入近化学剂量比铌酸锂晶体波导的特性研究》探讨了通过氧离子注入技术制备的铌酸锂波导的光学特性。研究分析了注入参数对波导性能的影响，为高性能光子器件的开发提供了理论依据和技术支持。

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