电感耦合射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜_偏压的影响 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

2 0

2026-1-12 16:44 | 查看全部阅读模式

会议论文《电感耦合射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜_偏压的影响》探讨了偏压对类金刚石薄膜生长过程的影响。通过实验分析，研究发现偏压能够显著改变等离子体特性及薄膜的结构与性能。该文为优化沉积工艺提供了理论依据，对提升类金刚石薄膜的质量具有重要意义。

文档为pdf格式，0.67MB，总共4页。