应力AlGaN_GaN异质结构中AlGaN势垒层的相对介电常数 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

会议论文《应力AlGaN_GaN异质结构中AlGaN势垒层的相对介电常数》探讨了在AlGaN/GaN异质结构中，AlGaN势垒层的相对介电常数受应变影响的特性。研究通过实验与理论分析相结合，揭示了应力对介电性能的影响机制，为高性能氮化物半导体器件的设计与优化提供了重要参考。

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