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MEMS压阻式加速度传感器的研究进展 - 2008全国矿山节能减排和谐发展学术年会.pdf

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2026-1-12 07:45 | 查看全部阅读模式

会议论文《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》发表于2008年全国矿山节能减排和谐发展学术年会。文章综述了MEMS压阻式加速度传感器的基本原理、结构设计及制造工艺，分析了其在矿山环境中的应用优势与技术挑战，为提升矿山安全监测水平提供了理论支持和技术参考。

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MEMS压阻式加速度传感器的研究进展 - 2008全国矿山节能减排和谐发展学术年会.pdf

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研究进展, 加速度, 传感器, 矿山, 和谐发展

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