CVD法制备纳米金刚石膜的研究进展 - 庆祝中国人造金刚石诞生45周年大会暨第五届郑州国际超硬材料及制品研讨会.pdf

4 0

2026-1-12 07:25 | 查看全部阅读模式

会议论文《CVD法制备纳米金刚石膜的研究进展》介绍了化学气相沉积（CVD）技术在纳米金刚石膜制备中的最新进展。文章总结了近年来在工艺优化、成膜机理及应用拓展方面的研究成果，强调了CVD法在制备高质量纳米金刚石膜中的优势。该文为推动我国超硬材料领域的发展提供了重要参考。

文档为pdf格式，0.73MB，总共5页。