MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验研究 - 第19届中国过程控制会议.pdf

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2026-1-12 07:45 | 查看全部 阅读模式

会议论文《MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验研究》发表于第19届中国过程控制会议,主要探讨了低g值MEMS加速度传感器的测试系统设计与实验分析。文章介绍了测试系统的结构组成及工作原理,通过实际试验验证了系统的准确性与可靠性,为MEMS传感器在工业控制中的应用提供了理论支持和技术参考。

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MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验研究 - 第19届中国过程控制会议
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