本文介绍了通过磁控溅射法制备类金刚石薄膜的过程，并对其摩擦磨损性能进行了研究。实验结果表明，该方法制备的薄膜具有良好的耐磨性和低摩擦系数，适用于需要高硬度和低摩擦的应用场合。研究为类金刚石薄膜在工程领域的应用提供了理论依据和技术支持。
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