微小等离子体反应器的导出机理研究 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

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2026-1-11 17:32 | 查看全部 阅读模式

会议论文《微小等离子体反应器的导出机理研究》在中国微米纳米技术学会第十一届学术年会上发表,探讨了微小等离子体反应器的工作原理及导出机制。该研究对等离子体在微尺度下的生成与控制进行了深入分析,为微型化、高效能等离子体设备的设计提供了理论支持。论文结合实验与模拟方法,揭示了关键参数对反应器性能的影响,具有重要的科研与应用价值。

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微小等离子体反应器的导出机理研究 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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