会议论文《封孔镀铜溶液中抑制剂PEG的失效机理研究》探讨了在封孔镀铜工艺中聚乙二醇(PEG)作为抑制剂的作用及其失效原因。研究通过实验分析了PEG在不同工艺条件下的稳定性,揭示了其在高温或高电流密度下分解的机制。该成果为优化镀铜工艺、提高镀层质量提供了理论依据。
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