大气压非平衡等离子体枪沉积二氧化硅薄膜 - 第十二届全国青年材料科学技术研讨会.pdf

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2026-1-11 16:30 | 查看全部 阅读模式

会议论文《大气压非平衡等离子体枪沉积二氧化硅薄膜》发表于第十二届全国青年材料科学技术研讨会。该研究探讨了利用大气压非平衡等离子体枪技术制备二氧化硅薄膜的工艺与性能。通过优化等离子体参数,实现了高质量薄膜的高效沉积,为新型功能材料的制备提供了新思路。

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大气压非平衡等离子体枪沉积二氧化硅薄膜 - 第十二届全国青年材料科学技术研讨会
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