会议论文《基于硼锗共掺高温退火实现二氧化硅波导间隙填充》介绍了通过硼锗共掺杂和高温退火技术,有效解决二氧化硅波导中间隙填充的问题。该方法提高了波导的结构稳定性和光学性能,为集成光学器件的制备提供了新思路。该成果在第14次全国光纤通信暨第15届集成光学学术会议上发表,对推动光电子技术发展具有重要意义。
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