基于硼锗共掺高温退火实现二氧化硅波导间隙填充 - 全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议.pdf

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2026-1-11 15:53 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于硼锗共掺高温退火实现二氧化硅波导间隙填充》介绍了通过硼锗共掺杂和高温退火技术,有效解决二氧化硅波导中间隙填充的问题。该方法提高了波导的结构稳定性和光学性能,为集成光学器件的制备提供了新思路。该成果在第14次全国光纤通信暨第15届集成光学学术会议上发表,对推动光电子技术发展具有重要意义。

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基于硼锗共掺高温退火实现二氧化硅波导间隙填充 - 全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议
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