会议论文《一种微机械硅谐振梁加速度计》介绍了基于微机械技术的新型加速度计设计。该加速度计采用硅谐振梁结构，具有高灵敏度和稳定性。通过实验验证，该器件在测量范围和精度方面表现出色，适用于高要求的测控系统。本文为微机电系统在传感器领域的应用提供了理论支持和技术参考。
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