会议论文《等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究》发表于2010年全国半导体器件技术研讨会，主要探讨了等离子体浸没注入技术在超低能掺杂中的应用。该研究对提升半导体器件性能、优化掺杂工艺具有重要意义，为微电子制造提供了新的技术思路。
文档为pdf格式，0.36MB，总共3页。
举报
