会议论文《微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜 - 第八届中国纳米科技西安研讨会》介绍了采用微波等离子体化学气相沉积技术制备金刚石薄膜的方法。该研究探讨了工艺参数对薄膜质量的影响，分析了反应气体配比、压力及温度等因素的作用。论文旨在为高性能金刚石薄膜的制备提供理论依据和技术支持，具有重要的科研与应用价值。
文档为pdf格式，0.46MB，总共4页。
举报
