会议论文《常压化学气相沉积法制备氟掺杂TiO_2自清洁薄膜》介绍了通过常压化学气相沉积技术制备氟掺杂二氧化钛自清洁薄膜的方法。该研究旨在提高TiO₂薄膜的光催化性能和疏水性,以增强其自清洁效果。论文探讨了氟元素对薄膜结构和性能的影响,并分析了制备工艺参数对薄膜质量的作用,为功能陶瓷薄膜材料的应用提供了理论依据和技术支持。
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