会议论文《柱状压电晶片堆的有限元分析》发表于2010年全国半导体器件技术研讨会,主要研究了柱状压电晶片堆的力学特性。通过有限元方法对压电材料在不同负载条件下的响应进行模拟,分析了其应力分布和变形情况。该研究为优化压电器件设计提供了理论依据,对提高器件性能具有重要意义。
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