基于MEMS技术的低频微型矢量水听器技术研究 - 2009年全国压电和声波理论及器件技术研讨会暨2009年全国频率控制技术年会.pdf

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2026-1-11 15:09 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于MEMS技术的低频微型矢量水听器技术研究》介绍了利用MEMS技术设计和实现低频微型矢量水听器的研究成果。该研究旨在提高水下声信号检测的精度和灵敏度,适用于海洋探测与监测等领域。通过优化传感器结构和材料,实现了小型化与高性能的结合,为后续应用提供了理论和技术支持。

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基于MEMS技术的低频微型矢量水听器技术研究 - 2009年全国压电和声波理论及器件技术研讨会暨2009年全国频率控制技术年会
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