会议论文《基于微悬臂梁的压电振动能量采集器的分析与制造》发表于第六届华东三省一市真空学术交流会。该文研究了利用微悬臂梁结构实现振动能量采集的方法,重点分析了压电材料在微机电系统中的应用特性,并介绍了相关器件的制造工艺。研究成果为微型传感器和无线传感网络提供了可持续供电方案。
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