差动共焦光学参数检测方法 - 第十三届全国光学测试学术讨论会.pdf

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2026-1-10 22:42 | 查看全部 阅读模式

会议论文《差动共焦光学参数检测方法》发表于第十三届全国光学测试学术讨论会,探讨了利用差动共焦技术进行光学参数的高精度检测。该方法通过对比不同焦点位置的光强变化,提高了检测的灵敏度和分辨率,适用于微小尺寸和复杂表面的光学测量。研究为光学测试领域提供了新的技术手段,具有重要的应用价值。

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差动共焦光学参数检测方法 - 第十三届全国光学测试学术讨论会
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