会议论文《SiC SIT器件的高温退火工艺研究》发表于2013年全国微波毫米波会议,主要探讨了碳化硅雪崩注入晶体管(SiC SIT)在高温退火过程中的特性变化。该研究通过实验分析了不同退火温度对器件性能的影响,旨在优化退火工艺以提高器件的稳定性和可靠性。研究成果对SiC功率器件的制备具有重要参考价值。
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