本文介绍了在硅基底和金刚石基底上沉积ZnO薄膜的工艺研究，探讨了不同基底对ZnO薄膜性能的影响。通过优化沉积条件，如温度、压力和气体比例，提高了薄膜的质量和均匀性。研究结果表明，金刚石基底有助于改善ZnO薄膜的结晶性能，为高性能半导体器件的制备提供了新思路。
文档为pdf格式，1.11MB，总共4页。
举报
