本文介绍了采用磁控溅射法制备玻璃基TiN及Ti_TiN薄膜的研究。通过调节工艺参数，获得了不同结构的薄膜，并对其显微硬度进行了测试。结果表明，Ti_TiN复合薄膜具有较高的硬度，显示出良好的力学性能。该研究为高性能薄膜材料的制备提供了参考依据。
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