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六氟-1_3-丁二烯的提纯方法及应用优势 - 全国特种气体第十八次年会.pdf

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会议论文《六氟-1_3-丁二烯的提纯方法及应用优势》介绍了六氟-1_3-丁二烯的高效提纯技术，分析了其在半导体和电子工业中的重要应用。该研究通过优化工艺流程，提高了产品的纯度和收率，降低了生产成本，具有显著的经济和环境效益。

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六氟-1_3-丁二烯的提纯方法及应用优势 - 全国特种气体第十八次年会.pdf

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