不同退火温度下氧化锌薄膜光学性能的研究 - 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

2 0

2026-1-10 02:14 | 查看全部阅读模式

会议论文《不同退火温度下氧化锌薄膜光学性能的研究》探讨了退火温度对氧化锌薄膜光学特性的影响。研究通过改变退火温度，分析了薄膜的透光率、折射率及光学带隙的变化。结果表明，退火温度的升高显著改善了薄膜的结晶质量，从而提升了其光学性能。该研究为氧化锌薄膜在光电子器件中的应用提供了理论依据和技术支持。

文档为pdf格式，0.45MB，总共4页。