本文综述了添加剂元素掺杂AZO薄膜的制备方法及其性能研究。通过引入不同元素，如Al、Ga、In等，可以显著改善AZO薄膜的导电性、透明性和热稳定性。文章总结了多种制备技术，分析了掺杂元素对薄膜结构和性能的影响，为未来AZO薄膜的应用提供了理论依据和技术参考。
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