温度对电容薄膜真空计测量影响的实验研究 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

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2026-1-10 14:34 | 查看全部 阅读模式

会议论文《温度对电容薄膜真空计测量影响的实验研究》探讨了温度变化对电容薄膜真空计测量精度的影响。通过实验分析不同温度环境下真空计的输出特性,研究发现温度波动会导致传感器性能变化,进而影响测量结果。该研究为提高真空测量的准确性提供了理论依据和技术参考,对相关领域的应用具有重要意义。

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温度对电容薄膜真空计测量影响的实验研究 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
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