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一种硅微热板气体传感器应力调节系统设计与仿真 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-10 02:04 | 查看全部阅读模式

本文针对硅微热板气体传感器在工作过程中产生的应力问题，提出了一种应力调节系统的设计方案。通过仿真分析，验证了该系统的有效性，能够显著改善传感器的性能和稳定性。研究为提高气体传感器的精度和可靠性提供了新的思路。

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一种硅微热板气体传感器应力调节系统设计与仿真 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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传感器, 一种, 学术会议, 应力, 气体

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