会议论文《CMOS兼容硅纳米线阵列制备及其光电特性研究》介绍了基于CMOS工艺制备硅纳米线阵列的方法，并分析了其光电性能。研究采用先进的微纳加工技术，实现了高密度硅纳米线的可控生长，探讨了其在光探测和传感领域的应用潜力。实验结果表明，该结构具有良好的光电响应特性，为未来高性能、低功耗的集成光电子器件提供了新思路。
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