纳米尺度飞高测试的实验研究 - 2009中国仪器仪表与测控技术大会.pdf

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2026-1-11 21:13 | 查看全部 阅读模式

会议论文《纳米尺度飞高测试的实验研究》发表于2009年中国仪器仪表与测控技术大会,主要探讨了在纳米尺度下飞行高度的测量方法与实验分析。该研究针对精密仪器中的关键参数——飞高进行深入探讨,提出了有效的测试方案,对提升微纳加工与检测技术具有重要意义。

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纳米尺度飞高测试的实验研究 - 2009中国仪器仪表与测控技术大会
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