会议论文《纳米结构与纳米器件特种加工及表征技术研究》收录于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文探讨了纳米结构与器件的先进加工技术及表征方法，涵盖电子束光刻、聚焦离子束加工等关键技术，同时介绍了纳米材料的物理特性分析手段。研究对推动纳米科技在微电子、传感器等领域的应用具有重要意义。
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