论文《磁控溅射制备氧化铪薄膜的高温绝缘性》探讨了通过磁控溅射技术制备氧化铪薄膜的性能，重点研究其在高温环境下的绝缘特性。实验结果表明，该薄膜在高温下表现出良好的绝缘性能，具有广阔的应用前景。文章为高温传感器和电子器件的材料选择提供了重要参考。
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