会议论文《非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN_ZrN多层膜》介绍了采用非对称双极脉冲反应磁控溅射技术制备TiN/ZrN多层薄膜的方法。该研究通过优化工艺参数，实现了高质量多层膜的制备，提升了薄膜的硬度和耐磨性能，为先进功能薄膜的应用提供了理论支持和技术参考。
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