膜厚对声表器件频率特性的影响 - 第十七届全国混合集成电路学术会议.pdf

论文《膜厚对声表器件频率特性的影响》探讨了薄膜厚度对表面声波器件频率性能的影响。通过实验与仿真分析，研究发现膜厚变化会显著影响器件的谐振频率和带宽。该成果为优化声表器件设计提供了理论依据和技术支持，对提升器件性能具有重要意义。

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2025-12-14 09:06 上传 膜厚对声表器件频率特性的影响 - 第十七届全国混合集成电路学术会议.pdf

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