一、基本信息
文档名称：T_CCGA 90004—2023_泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法
文档格式：pdf格式
文档大小：1.18MB
总页数：12页
二、简介
《T_CCGA 90004—2023_泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法》是一项针对泛半导体行业尾气处理设备性能评估的团体标准。该标准规定了尾气处理设备在分解和移除有害气体方面的测试方法，旨在提高环保水平和生产安全。通过科学、规范的测试流程，帮助企业准确评估设备的净化效果，确保符合国家环保要求。该标准适用于各类泛半导体制造过程中产生的废气处理系统，为行业提供统一的技术依据和检测规范。
三、预览
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