一、基本信息
文档名称：T_CPSS 1018—2025_半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法
文档格式：pdf格式
文档大小：9.45MB
总页数：21页
二、简介
《T_CPSS 1018—2025_半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法》是一项针对半导体制造中等离子体工艺射频电源动态阻抗测试的行业标准。该标准规定了射频电源在不同工作条件下的动态阻抗测试流程、测试设备要求及数据分析方法，旨在提升等离子体工艺的稳定性和可控性。通过规范测试方法，有助于提高半导体制造过程中的工艺精度和设备可靠性，为行业提供统一的技术依据。该标准适用于半导体制造领域内的射频电源设计、测试与应用，对推动相关技术发展具有重要意义。
三、预览
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