一、基本信息
文档名称：T_GVS 015—2024_远程等离子体源的解离率测试方法
文档格式：pdf格式
文档大小：0.59MB
总页数：12页
二、简介
《T_GVS 015—2024 远程等离子体源的解离率测试方法》是一项针对远程等离子体源性能评估的技术规范。该标准规定了测量等离子体中气体分子解离率的试验方法，包括测试环境、仪器设备、操作步骤及数据处理等内容。通过该方法，可以准确评估等离子体源在不同工作条件下的解离效率，为相关设备的设计与优化提供依据。该标准适用于半导体制造、表面处理等领域的等离子体应用，有助于提升工艺控制精度和产品质量。
三、预览
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