退火实现蓝宝石衬底N-Al共掺ZnO薄膜的p转变 - 第11届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-12 18:39 | 查看全部 阅读模式

会议论文《退火实现蓝宝石衬底N-Al共掺ZnO薄膜的p转变》探讨了通过退火工艺在蓝宝石衬底上制备N-Al共掺ZnO薄膜,并实现其p型转变的技术路径。研究为解决ZnO材料p型掺杂难题提供了新思路,对开发高性能光电子器件具有重要意义。

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退火实现蓝宝石衬底N-Al共掺ZnO薄膜的p转变 - 第11届全国固体薄膜会议
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