会议论文《静电辅助的气溶胶化学气相沉积法制备Y2O3薄膜的研究》介绍了利用静电辅助技术改进气溶胶化学气相沉积法（ACVD）制备Y2O3薄膜的过程。该方法通过引入电场增强前驱体的沉积效率和薄膜质量，提升了薄膜的均匀性和致密性。研究结果表明，静电辅助有效改善了薄膜的结构与性能，为高性能Y2O3薄膜的制备提供了新思路。
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