高结合强度类金刚石膜的制备与性能研究 - 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议.pdf

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2026-1-12 19:46 | 查看全部阅读模式

会议论文《高结合强度类金刚石膜的制备与性能研究》探讨了类金刚石膜的制备工艺及其与基底的结合强度问题。文章通过实验分析了不同制备条件对薄膜性能的影响，旨在提高其在机械、电子等领域的应用价值。该研究为高性能类金刚石膜的开发提供了理论依据和技术支持。

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