会议论文《半导体生产用剧毒气体解毒技术的研究》在全国特种气体第十二次年会上发表，探讨了半导体制造过程中涉及的剧毒气体处理技术。文章分析了常见剧毒气体的特性及其对环境和人体的危害，提出了一系列高效、安全的解毒方法。研究为提升半导体生产的安全性与环保性提供了重要参考，具有实际应用价值。
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