会议论文《PECVD镀膜机等离子体静电探针诊断 - 2008中国仪器仪表与测控技术报告大会》介绍了利用静电探针对等离子体进行诊断的方法。该研究针对PECVD镀膜机中的等离子体特性，通过静电探针获取等离子体参数，为优化镀膜工艺提供了数据支持。论文分析了探针在实际应用中的性能及影响因素，对提升薄膜质量具有重要意义。
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