会议论文《MEMS流量传感技术及其最新进展》发表于2008年全国流量计量学术交流会，探讨了微机电系统（MEMS）在流量传感领域的应用与技术发展。文章介绍了MEMS流量传感器的工作原理、结构设计及制造工艺，并分析了其在工业测量中的优势与挑战。同时，论文还总结了当时该领域的研究热点和未来发展方向，为相关技术的进一步创新提供了理论支持。
文档为pdf格式，0.53MB，总共3页。
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