会议论文《纳米金刚石复合涂层的沉积与表征研究》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该研究探讨了纳米金刚石复合涂层的制备方法及其性能表征，旨在提升材料的硬度、耐磨性和热稳定性。通过先进的沉积技术，如化学气相沉积和等离子体增强法，实现了纳米金刚石在基材上的均匀覆盖。研究结果对微电子、机械制造等领域具有重要应用价值。
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