会议论文《掺铝氧化锌压电薄膜的制备和表征》介绍了通过溅射法制备掺铝氧化锌压电薄膜的过程，并对其结构和压电性能进行了详细表征。研究结果表明，适量掺杂铝元素可以有效改善ZnO薄膜的压电性能，为高性能压电器件的开发提供了理论依据和技术支持。
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